Novi Slovenski biografski leksikon

Obiskoval je II. (Šubičevo) gimnazijo v Ljubljani in maturiral 1964. Na Fakulteti za naravoslovje in tehniko v Ljubljani je študiral tehniško fiziko in diplomiral 1970. Na Fakulteti za elektrotehniko v Ljubljani je opravil podiplomski magistrski študij z magistrsko nalogo Obravnava strukture integrirane injekcijske logike (1976) in doktorat znanosti z doktorskim delom Segmentna analiza električnih lastnosti N-V polprevodniških struktur (1981). Zaposlen je bil najprej na Zavodu za avtomatizacijo Iskra (1970–73), od 1973 pa na Fakulteti za elektrotehniko v Ljubljani kot asistent, od 1982 kot docent, od 1987 kot izredni profesor in od 1992 kot redni profesor. Izpopolnjeval se je na tujih visokošolskih ustanovah, bil je raziskovalec na univerzi v Leuvnu (Université Catholique de Louvain, Belgija, 1978, 6 mesecev), kot gostujoči profesor in raziskovalec je v študijskih letih 1992/93 in 1994/95 s predavanji in raziskavami na področju modeliranja in izdelave polprevodniških mikrostruktur deloval na univerzi v Tridentu (Università di Trento, Italija).

Njegova raziskovalna področja so polprevodniški materiali, tehnologije in elementi; teorija in modeliranje; mikroelektronika, mikroobdelava; analiza izdelave in delovanja mikrostruktur; mikrosenzorji in mikroaktuatorji, MEMSi, mikroreaktorji, mikrofluidne strukture. Sam ali s soavtorji je objavil vrsto izvirnih znanstvenih člankov ter prispevkov na mednarodnih konferencah. Za potrebe pedagoškega dela je objavil visokošolski učbenik in skripto, ki sta dostopna na spletu. Bil je mentor pri 47 diplomskih delih višješolskega študija, pri 29 diplomskih delih visokošolskega študija, pri 9 magistrskih delih in pri 6 doktorskih disertacijah.

Vabljena predavanja s področja polprevodniških mikrostruktur je imel sam ali s sodelavci na različnih mednarodnih konferencah in ustanovah doma in v tujini: predavanja študentom Progettazione Assistita da Calcolatore in Microelettronica, Universita' degli studi di Trento, Italija (gostujoči učitelj, poletni semester 1992/93 ter 1994/95); 16th Annual Semiconductor Conference, Sinaia, Romunija (1993); NATO International Conference on Electronic packaging for high reliability, low cost electronics, Bled (1997); ECS Symposium on low temperature electronics and high temperature superconductivity, Pennington, ZDA (1997); 3rd European Microelectronics and Packaging Symposium, Praga, Češka (2004) idr.

Na Fakulteti za elektrotehniko Univerze v Ljubljani je 1988 ustanovil Laboratorij za mikrosenzorske strukture in elektroniko (LMSE) in je od ustanovitve tudi njegov predstojnik; v obdobju 1999–2003 je bil vodja programske skupine Nove senzorske in aktuatorske strukture; od 2004 dalje je vodja programske skupine Mikrostrukture in nanostrukture. Vodil je in vodi številne domače in tuje raziskovalne in razvojne projekte; je vodja skupine LMSE v Centru odličnosti Materiali za elektroniko naslednje generacije ter drugih prihajajočih tehnologij 1999–2004 ter v Centru odličnosti NAMASTE od 2009 dalje. Bil je predsednik Komisije za delovna razmerja na Fakulteti za elektrotehniko in računalništvo Univerze v Ljubljani; predsednik mednarodne konference MIDEM (Microelectronics, Devices and Materials) 1991, 1996, 1999, v obdobju 2001–05 predsednik časopisnega sveta mednarodne revije s faktorjem vpliva (IF) Informacije MIDEM; od 1998 stalni član International Program Committee MIPRO; predsednik strokovnega društva za mikroelektroniko, sestavne dele in materiale MIDEM v treh mandatnih obdobjih (2005–11); od 2004 član ter od 2006 tudi član izvršnega odbora Slovenskega akademijskega tehniško-naravoslovnega društva SATENA; od 2005 od ministra imenovan član ENIAC (European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) idr.

Bil je tajnik Društva univerzitetnih profesorjev v Ljubljani in Zveze društev univerzitetnih profesorjev Slovenije v obdobju 1983–93, od 1993 dalje pa je predsednik Komisije za priznanja Društva univerzitetnih profesorjev Ljubljana.

Prejel je nagrado za referat Analiza enosmernega delovanja IIL celice kot najboljši prispevek v sekciji Elektronika, ETAN, Opatija, 1976 ter nagrado Sklada Borisa Kidriča za raziskovalno delo Optoelektronske lastnosti monokristalnega in amorfnega silicija 1987 (z Jožetom Furlanom, Francem Smoletom in Jožetom Klopčičem). Bil je mentor pri delu Dejana Križaja Fast Reverse Biased Semiconductor Modeling with a Nonlinear Multigrid Method, nagrajenem kot najboljše študentsko delo na mednarodni konferenci MELECON '91 in mentor pri delu Edija Buliča Analiza in načrtovanje strukture polprevodniškega senzorja sevanja z integriranim JFET transistorjem, za katero je 1997 prejel Prešernovo nagrado za študente. Podeljen mu je bil (skupaj s soavtorjema Dejanom Križajem in Jožetom Furlanom) patent Zaščitna struktura planarnega PN spoja s spiralnim plastnim uporom. Je zaslužni član Društva univerzitetnih profesorjev.

Dela

  • Spiral Junction Termination, IEEE Transactions on Electron Devices (New York), 44, 1997, št. 11, 2002–2010 (s soavtorji).
  • Numerical Analysis of Edge Effects in Side Illuminated Strip Detectors for Digital Radiology, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research : Section A, Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment (Amsterdam), 2000, vol. 439, 451–457 (soavtor Dejan Križaj).
  • Study of Low-temperature Direct Bonding of (111) and (100) Silicon Wafers under Various Ambient and Surface Conditions, Sensors and Actuators : A, Physical (Amstedam et al.), 2000, vol. 80, str. 69–76 (s soavtorji).
  • Effective Roughness Reduction of {100} and {311} Planes in Anisotropic Etching of {100} Silocon in 5% TMAH, Journal of Micromechanics and Microengineering (Bristol), 2003, vol. 13, 26–34 (s soavtorji).
  • Mechanical Stress in Thin Film Microstructures on Silicon Substrate, Vacuum (Oxford, New York), 80, 2005, št. 1-3, 236–240 (s soavtorji).
  • Investigation of Cutting Edge in Edge-on Silicon Microstrip Detector, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research : Section A, Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment (Amstedam), 2010, vol. 620, no. 2-3, 557–562 (s soavtorji).
  • Experimental Study of Heat-treated Thin Film Ti/Pt Heater and Temperature Sensor Properties on a Si Microfluidic Platform, Journal of Micromechanics and Microengineering (Bristol), 21, 2011, št. 2, 1–10 (s soavtorji).
  • Osebna bibliografija (COBISS)

Viri in literatura

  • Arhiv SBL, vprašanik za SBL.
  • Osebni podatki.
Mihelič, F., Mihelič, D.: Amon, Slavko (1945–). Slovenska biografija. Slovenska akademija znanosti in umetnosti, Znanstvenoraziskovalni center SAZU, 2013. http://www.slovenska-biografija.si/oseba/sbi1000470/#novi-slovenski-biografski-leksikon (21. november 2019). Izvirna objava v: Novi Slovenski biografski leksikon: 1. zv. A. Ur. Barbara Šterbenc Svetina et al. Ljubljana, Znanstvenoraziskovalni center SAZU, 2013.

Komentiraj posredujte nam vaš komentar ali predlog za izboljšavo vsebine